EUV 장비 도입 검사 34일→9일 단축…산업통상부, 고법 시행령 개정

[포인트경제] 정부가 반도체 초미세 공정의 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다. 이에 따라 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들의 첨단 생산라인 가동 시점이 대폭 앞당겨질 전망이다.

산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 ‘특정설비’ 기준을 적용하도록 하는 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.

이번 제도 개선의 핵심은 EUV 장비의 관리 체계 전환이다. 네덜란드 ASML이 독점 생산하는 EUV 장비는 내부에 액체 주석 분사를 위한 고압가스 배관과 압축 장치가 포함되어 있어 그간 국내 법령상 ‘고압가스 제조설비’로 분류됐다. 이 때문에 장비를 설치할 때마다 복잡한 기술검토와 허가 절차를 거쳐야 해 장비 도입 지연과 기업 부담을 초래한다는 현장의 지적이 지속적으로 제기됐다.

산업통상부는 반도체 업계와 수차례 협의를 거쳐 안전성을 검증한 뒤, EUV 장비를 ‘특정설비’로 지정해 외국용기 등의 제조등록 대상에 추가하도록 조항을 신설했다. 특정설비로 전환되면 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 통해 기존과 동등한 안전성을 확보하면서도 장비 도입 단계의 규제는 크게 줄어든다.

검사 소요기간 25일 줄고 검사비용 장비당 5억원 절감 효과

이번 개정으로 기존 34일이 소요되던 기술검토 및 검사 기간이 9일로 줄어들어 장비당 최대 25일의 도입 기간이 단축된다. 기존에는 기술검토에 15일, 제조·변경 허가에 5일, 중간·완성검사에 14일이 걸렸으나 앞으로는 기술검토 2일, 제조·변경 허가 5일, 완성검사 2일로 절차가 대폭 축소된다. 해외 공인검사기관에서 진행하던 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원가량 절감될 것으로 추산된다.

아울러 이번 시행령 개정안에는 친환경 세탁 문화 확산을 위한 규제 완화도 포함됐다. 물과 세제 대신 이산화탄소를 사용하는 친환경 ‘액화 이산화탄소 세정설비’의 국내 최초 상용화를 위해 맞춤형 검사기준을 신설하고 안전관리자 자격요건을 가스기능사 자격소지자에서 특별교육 이수자로 완화했다.

이외에도 위험성이 낮은 고압가스 저장시설의 안전관리자 자격요건을 일반시설 양성교육이수자(94시간)에서 저장시설 양성교육이수자(55시간)로 현실화하고, 특정고압가스 사용신고시설의 안전관리자 선임 기준을 기존 250킬로그램 초과에서 500킬로그램 초과로 완화하는 등 현장 맞춤형 규제 정비가 함께 이뤄졌다.

이번 개정안은 다음 주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이다. 김정관 산업통상부 장관은 "이번 법령 개정이 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며, "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 전했다.